中微半导体设备(上海)有限公司
发布日期:2019-01-25

中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微通过创新驱动自主研发的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备十多年来与国际最先进水平保持同步,已在世界主要芯片制造和封测厂商的生产线上广泛应用于65纳米到7纳米及更先进的加工工艺和最先进的封装工艺。中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备不但在客户生产线投入量产,而且已成为在蓝光LED市场占有率最大的领先设备。目前,有近800个中微生产的反应台(包括介质刻蚀、TSV和MOCVD)正在国内外40多条世界领先的生产线上运行。
以Primo为品牌,中微的刻蚀设备系列包括多款型号的电容耦合等离子体刻蚀设备和电感耦合等离子体刻蚀设备等。各型号设备产品都与当时的国际先进水平同步。Primo等离子体刻蚀设备可覆盖存储器件和逻辑器件大部分的介质刻蚀和导体刻蚀工艺。目前,中微刻蚀设备已进入全世界最先进的7纳米芯片量产生产线。具有大量自主创新设计和技术、产生了数百项专利的Primo等离子体刻蚀设备不仅为极大规模集成电路芯片制造企业提供了稳定可靠、高质量的工艺加工能力和显著的生产成本优势,更在国际竞争对手挑起的知识产权诉讼中以不败的记录经受了严峻考验。Primo的成功,迫使美国在2015年公开宣布放弃了对中国限制出口先进刻蚀设备的政策。

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